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日本电子X射线光电子能谱仪

日本电子X射线光电子能谱仪

型    号:JPS-9030型
所属分类:能谱仪
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日本电子X射线光电子能谱仪是材料科学和发展的领域中最广泛使用的表面分析技术。其原理是利用X射线束(一般会使铝阳极或镁阳极)作为入射源,照射在样品表面导致让光电子从原子的核心层被激发出。根据测得的光电子所发出的电子动能,再依照能量守恒定律就可以知道电子的结合能,从而也就可知道样品表面是何物质。

日本电子X射线光电子能谱仪产品概述:

JPS-9030型X射线光电子能谱仪

X射线光电子能谱仪用于样品表层元素及价态分析、深度分析、UPS紫外光电子能谱结构分析等

X射线光电子能谱仪

型号:JPS-9030

品牌:日本电子

产地:日本

制造商:日本电子

  • X 射线光电子能谱(XPS)是材料科学和发展的领域中最广泛使用的表面分析技术。其原理是利用X射线束(一般会使铝阳极或镁阳极)作为入射源,照射在样品表面导致让光电子从原子的核心层被激发出。根据测得的光电子所发出的电子动能,再依照能量守恒定律就可以知道电子的结合能,从而也就可知道样品表面是何物质。

  • 日本电子X射线光电子能谱仪功能用途:样品表层元素及价态分析、深度分析、UPS紫外光电子能谱结构分析等

  • 日本电子X射线光电子能谱仪技术特点:具有多种非单色化及单色化的X射线源,大功率罗兰圆提供更高的分析及能量分辨率,兼具Ar离子或Ar原子团簇模式刻蚀及紫外光电子能谱(UPS)测试等可选附件。

一台电子能谱仪的基本组成由所研究的试样、一个初级激发源和电子能量分析器组成。它们安装在超高真空(UHV)下工作。实际上,经常再备有一个UHV室安装各种试样制备装置,和可能的辅助分析装置。此外还有数据采集与处理系统。 
(1)真空系统。电子能谱分析技术本身的表面灵敏度要求必须维持超高真空。现代电子能谱仪采用离子泵获得超高真空条件。所有超高真空系统都需要时常烘烤,以去除真空室内壁上的吸附层。
(2)试样台。试样被固定在试样台上。试样台要求平稳,工作时无颤动。对AES在常规分析时,试样应导电和接地。
(3)初级激发源。XPS和AES的初级激发源不同。
XPS的X射线源。X射线是用高能电子轰击阳极靶材激发出来的。由灯丝发出的热电子被加速到一定能量去轰击阳极靶材,引起其原子内壳层电离。当较外层电子以辐射跃迁的方式填充内壳层空位时,释放出具有特征能量的X射线。 
AES的电子枪。电子枪的关键部件是电子源及用于电子束聚焦、整形和扫描的透镜组。电子源可以是热电子发射体或冷场发射体;透镜组可以是静电型的,或用于高分辨率的电磁型的。21世纪初期,在AES能谱仪中,电磁透镜和冷场发射电子源的结合,可提供小于10nm的电子束斑,所以空间分辨率很高。 
(4)电子能谱分析器。在XPS和AES中通常使用的能量分析器有两种:筒镜形能量分析器(CMA)和半球形能量分析器(HSA)。当不追求最高分辨率,且只是收集小区域(直径小于1mm)内的谱时,采用CMA;不需要分析化学态时,则在AES中用CMA。通常CMA能达到的能量分辨率大约为0.4%~0.6%。HSA的分辨率通常要高一个数量级


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